SEM掃描電鏡就是Scanning Electron Microscope，是一種電子顯微鏡。我們?cè)趯?shí)驗(yàn)室經(jīng)常用到的一種儀器就是顯微鏡，在多個(gè)領(lǐng)域的都有很重要的應(yīng)用。隨著科技的發(fā)展和進(jìn)步，SEM分析的作用和能力也是越來越強(qiáng)的，sem掃描電鏡是起源于英國(guó)，現(xiàn)在也是實(shí)驗(yàn)室常備的實(shí)驗(yàn)儀器之一。 
　　SEM掃描電鏡的原理不同于光學(xué)顯微鏡和透射電子顯微鏡，SEM掃描電鏡的照明光源主要是電子束。電子束會(huì)聚焦得很細(xì)，然后以光柵掃描的方式照射到試樣上面，然后通過電子束和試樣的相互作用，產(chǎn)生二次和散射電子，然后在進(jìn)行收集和處理才能形成放大的圖像，這就是SEM掃描電鏡的基本原理，SEM分析在斷口失效分析、材料成分分析和材料的微觀組織分析都起到了很重要的作用。 
　　SEM掃描電鏡的結(jié)構(gòu)：主要是SEM由電子光學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)及信號(hào)收集及顯示系統(tǒng)組成。 

　　電子光學(xué)系統(tǒng)也是由幾部分組成，有電磁透鏡、掃描線圈和電子槍以及樣品室，主要的作用就是用來獲取電子束，能夠使樣品產(chǎn)生物理信號(hào)的激發(fā)源。如果想要更高的分辨率和信號(hào)的強(qiáng)度，就要提高電子束的亮度和極小的直徑。 
　　電子槍的作用就是利用高壓產(chǎn)生高能量的電子束，其作用和透射電子顯微鏡的電子槍的作用比較類似，而且根據(jù)電子束的裝置不同，還能分為六硼化锏電鏡和鎢燈絲掃描電鏡。 

　　SEM掃描電鏡的優(yōu)點(diǎn) 
SEM掃描電鏡的倍數(shù)比較高，一般是20萬倍以上，可以連續(xù)調(diào)節(jié)，而且視野比較大，成像的立體感很強(qiáng)，能夠直接看出來樣品的表面和微小的結(jié)構(gòu)，而且需要的樣品制備很簡(jiǎn)單，還可以同時(shí)進(jìn)行顯微地觀察和樣品成分的分析，這也是SEM掃描電鏡應(yīng)用廣泛的原因。